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日本のEUV周辺技術開発企業「EIDEC」が解散 – 日本のEUVの研究協業が終焉 – マイナビニュース

日本のEUV周辺技術開発企業「EIDEC」が解散 - 日本のEUVの研究協業が終焉  マイナビニュースEUVリソグラフィ(EUVL)関連の国家プロジェクトを2011年~2015年の4年間にわたって推進し、その後も自主的な民間共同研究プログラムを実施してきた先端ナノプロセス ...... (詳細へ) »
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